Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/1565
Advisors: Якименко Ю.
Title: Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія
Issue Date: 2009
Keywords: діелектрик
напівпровідник
нанокристалічний кремній
сполуки кремнія
тонкі плівки
п'єзоелектрик
нітриду алюмінія
мікроелектронно-механічні системи
ВЧ-мехатронне розпилення
Appears in Collections:Звіти про науково-дослідні роботи (доступ у чит. залі № 11 НТБ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2010-п.pdf
  Restricted Access
5.83 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.