Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія
Abstract
Об’єкт дослідження – модель, структура і технологія функціональної сенсорної мікроелектромеханічної системи МЕМС.
Мета роботи: дослідження і розробка технології отримання функціональних наноструктурних плівок на основі сполук кремнію та нітридів матеріалів для створення плівкових сенсорних МЕМС у складі наноелектронних комірок.
Робота присвячена дослідженню структури, фізико-хімічних характеристик та технології функціональних матеріалів на основі низькотемпературного синтезу плівок на основі сполук кремнія та нітридів алюмінія. Вперше розглянуті радіальні коливання плівкового елемента із частково електродованими поверхнями та побудована математична модель їх реєстрації в поляризованому по товщині елементі. Досліджено процеси синтезу плівок методом магнетронного ВЧ-розпилення, який забезпечує одержання тонких плівок кремнієвих сполук з високими технічними характеристиками, хорошою стабільністю і відсутністю деградації ефекта Стеблера-Вронскі. Одержані плівки нітридів характеризуються високою провідністю, оптичним поглинанням в області 400 нм, гетеропереходи проявляють діодні характеристики при низьких значеннях напруги 0,01-0,2В в прямому включенні. Розроблено технологію керування структурними властивостями тонких плівок кремнію з нанокристалітними включеннями, досліджені залежності різних властивостей - електрофізичних, оптичних, термоелектричних, фотоелектричних і радіаційних - від розмірів нанокристалітів і співвідношення аморфної і нанокристалічної фаз. Метод дозволяє промислове виробництво мікроелектронних пристроїв на основі нанокристалічних кремнієвих сполук.
Отримані результати рекомендовано використовувати при розробці електронних пристроїв мікроелектромеханічних систем та нових функціональних матеріалів для сенсорів, резонаторів, фотоприймачів і джерел видимого і ультрафіолетового випромінювання, сонячних елементів, тонкоплівкових транзисторів.
Description
Keywords
діелектрик, напівпровідник, нанокристалічний кремній, сполуки кремнія, тонкі плівки, п'єзоелектрик, нітриду алюмінія, мікроелектронно-механічні системи, ВЧ-мехатронне розпилення
Citation
Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія : звіт про НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. Ю. Якименко. - К., 2009. - 150 л. + CD-ROM. - Д/б №2010-п