Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/17562
Title: Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering
Other Titles: Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням
Диэлектрические пленки оксинитрида алюминия полученные реактивным распылением
Authors: Borisova, A.
Machulyansky, A.
Rodionov, M.
Smilyk, V.
Yakimenko, Y.
Борисова, Олександра Володимирівна
Мачулянський, О. В.
Родіонов, М. К.
Смілик, В.
Якименко, Ю. І.
Борисова, Александра Владимировна
Мачулянский, А. В.
Родионов, М. К.
Смилык, В.
Якименко, Ю. И.
Keywords: плівки оксинітриду алюмінію
магнетроне реактивне розпилення
електрична міцність
хімічна стійкість
термічна стабільність
aluminum oxynitride film
magnetron reactive sputtering
dielectric strength
chemical resistance
thermal stability
пленки оксинитрида алюминия
магнетронное реактивное распыление
электрическая прочность
химическая устойчивость
термическая стабильность
Issue Date: 2015
Publisher: НТУУ «КПІ»
Citation: Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/17562
Appears in Collections:Електроніка та зв'язок: науково-технічний журнал, Т. 20, № 3(86)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
EiS2015-3_04_Machulyanskiy.pdf258.96 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.