Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/21103
Title: Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок
Other Titles: Design processing technique of reception focused films of nitride aluminium with piezoelectric properties for organization functional MEMS-structures in nanoelectronic meshes
Разработка технологии получения ориентированных пленок нитрида алюминия с пьезоэлектрическими свойствами для организации функциональных МЭМС-структур в составе наноэлектронных ячеек
Advisors: Якименко, Юрій Іванович
Yakimenko, I. Yuri
Якименко, Юрий Иванович
Keywords: плівки нітриду алюмінія
топологія електродів комірки
Issue Date: 2011
Publisher: НТУУ «КПІ»
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/21103
Gov't Doc #: 0110U002462
Appears in Collections:Анотовані описи завершених науково-дослідних робіт КПІ ім. Ігоря Сікорського

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2336-p.pdf133.36 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.