Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/22966
Title: Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС
Authors: Дудка, Михайло Юрійович
Advisors: Орлов, Анатолій Тимофійович
Keywords: сенсор газового потока
МЭМС
теплопроводность
теплоёмкость
датчик потоку газу
МЕМС
теплопровідність
теплоємність
gas flow sensor
MEMS
thermal conductivity
heat capacity
Issue Date: 2018
Citation: Дудка, М. Ю. Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дудка Михайло Юрійович. – Київ, 2018. – 80 с.
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/22966
Appears in Collections:Магістерські роботи
Магістерські роботи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dudka_magistr.pdf5.47 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.