Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/26337
Title: Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки
Authors: Бондаренко, Максим Олексійович
Advisors: Ващенко, Вячеслав Андрійович
Keywords: неруйнівний контроль
атомно-силова мікроскопія
кліматичні фактори
робочі параметри
мікросистемна техніка
точність
чутливість
відтворюваність
non-destructive control
atomic-force microscopy
climatic factors
operation parameters
microsystem technology
accuracy
sensitivity
reproducibility
неразрушающий контроль
атомно-силовая микроскопия
климатические факторы
рабочие параметры
микросистемная техника
точность
чувствительность
воспроизводимость
Issue Date: 2019
Citation: Бондаренко, М. О. Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки : дис. … д-ра техн. наук : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / Бондаренко Максим Олексійович. – Київ, 2019. – 427 с.
Description: Робота виконана в Черкаському державному технологічному університеті Міністерства освіти і науки України на кафедрі фізики.
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/26337
Appears in Collections:Дисертації (вільний доступ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bondarenko_diss.pdf15.35 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.