Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/27718
Title: Інтегральна мікроелектроніка. Конспект лекцій
Authors: Свєчніков, Георгій Сергійович
Діденко, Юрій Вікторович
Keywords: мікроелектроніка
наноелектроніка
мікромініатюризація
літографія
Issue Date: 2019
Publisher: КПІ ім. Ігоря Сікорського
Citation: Свєчніков, Г. С. Інтегральна мікроелектроніка. Конспект лекцій [Електронний ресурс] : навчальний посібник для здобувачів ступеня магістра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» / Г. С. Свєчніков, Ю. В. Діденко ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 16,17 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 454 с. – Назва з екрана.
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/27718
Appears in Collections:Підручники, навчальні посібники та практикуми

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Integralna_mikroelektronika.pdf16.17 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.