Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/5973
Title: Розробка та створення пристроїв фільтрації електричних сигналів на основі мікроелектромеханічних резонаторів для організації функціональних МЕМС-структур
Authors: Жуйков, В. Я.
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"
Keywords: діелектрик
напівпровідник
нанокристалічний кремній
тонкі плівки
п'єзоелектрик
електромеханічний резонатор
ВЧ-магнетронне розпилення
Issue Date: 2012
Publisher: Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"
Citation: Розробка та створення пристроїв фільтрації електричних сигналів на основі мікроелектромеханічних резонаторів для організації функціональних МЕМС-структур : звіт про НДР (заключ.) НТУУ "КПІ" ; кер. роб. В. Жуйков. - К., 2012. - 152 л. + CD-ROM. - Д/б №2467-п
Abstract: Звіт про НДР "Розробка та створення пристроїв фільтрації електричних сигналів на основі мікроелектромеханічних резонаторів для організації функціональних МЕМС-структур": 152 с., 51 рис., 13 табл., 127 джерел. Об’єкт дослідження – математична модель об’ємних мікромеханічних резонаторів та пристрої фільтрації електричних сигналів для функціональних МЕМС-структур. Мета роботи: розробка та дослідження мікроелектромеханічних резонаторів та технології їх отримання для створення інтегральних фільтрових елементів функціональних МЕМС-структур. Розробка призначена для відпрацювання моделі та дослідження технології мікромеханічних резонаторів на основі напівпровідникових та діелектричних плівок. Вперше розглянуті фільтрові мікромеханічні резонатори з радіальними коливаннями п’єзоелектричного елемента із частково електродованими поверхнями та резонатори балочного типу з урахуванням продольного компонента вектора зсуву рухливої частини мікромеханічного резонатора при наявній реакції опор стрижня. При виготовленні плівок та резонаторів використовувалося мікроелектронне технологічне обладнання (установка субмікронної електронної літографії «Electromask 6000», системи вакуумного напилювання УВН-74 II; УВН -75, ВУП- 5, УВН-71, Катод-1М). Властивості плівок вивчалися за допомогою атомного силового мікроскопу (Nano Scope 111a Quadrexed Dimension 3000), Оже-аналізу – LAS-200 фірми "Riber" (Франція), ВІМС, установки дослідження спектрів люмінесценції, спектрофотометрів СФ-46, ІЧ-спектроскопії, монохроматора ДМР-4, мікроскопів МІМ-4. Досліджено процеси низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок методом магнетронного ВЧ-розпилення, який забезпечує одержання тонких плівок кремнієвих сполук з хорошою стабільністю і відсутністю деградації ефекта Стеблера- Вронскі. Метод дозволяє широкомасштабне промислове виробництво мікроелектронних пристроїв на основі нанокристалічних кремнієвих сполук. Проведено аналіз технологічних методів поліпшення електронно-фізичних властивостей нанокристалічних кремнієвих сполук. Розроблені та виготовлені фільтри на центральну частоту 436 MГц з полосою 8,0 MГц при відсутності гармонік в полосі частот 20…1400 MГц. Отримані результати рекомендовано використовувати при розробці електронних пристроїв мікроелектромеханічних систем та при виробництві фотоприймачі видимого та ультрафіолетового випромінювання, світловипромінювальних приладів, сонячних елементів, тонкоплівкових транзисторів з підвищеною стабільністю.
Gov't Doc #: 0111U003243
URI: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/5973
Other Identifiers: КВНТД І.2 12.11.13
Д/б №2467-п
Appears in Collections:Звіти про науково-дослідні роботи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2467-п.pdf
  Restricted Access
2.59 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.