Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://ela.kpi.ua/handle/123456789/5973
Advisors: Жуйков, В. Я.
Title: Розробка та створення пристроїв фільтрації електричних сигналів на основі мікроелектромеханічних резонаторів для організації функціональних МЕМС-структур
Issue Date: 2012
Publisher: Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"
Gov't Doc #: 0111U003243
Keywords: діелектрик
напівпровідник
нанокристалічний кремній
тонкі плівки
п'єзоелектрик
електромеханічний резонатор
ВЧ-магнетронне розпилення
Appears in Collections:Звіти про науково-дослідні роботи (доступ у чит. залі № 11 НТБ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2467-п.pdf
  Restricted Access
2.59 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.