Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Authors: Казаченко, Г. А.
Гераїмчук, М. Д.
Kazachenko, G. A.
Geraimchuk, M. D.
Казаченко, Г. А.
Гераимчук, М. Д.
Title: Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем
Other Titles: Сondition and development of microelectromechanical systems
Развитие и состояние микроэлектромеханических систем
Issue Date: 2008
Publisher: НТУУ "КПІ"
Appears in Collections:Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 35

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
razd_7_4.pdf1.8 MBAdobe PDFThumbnail
Show full item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.