https://ela.kpi.ua/handle/123456789/10999| Title: | Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки |
| Other Titles: | Formation of nano-sizes in microelectronics Формирование наноразмеров структур микроэлектроники |
| Authors: | Кисіль, О. С. Kysil, O. S. Кисиль, О. С. |
| Keywords: | йонне травлення швидкість травлення ion etching etching speed ионное травление скорость травления |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | НТУУ "КПІ" |
| Citation: | Кисіль, О. С. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки / О. С. Кисіль // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2010. – № 40. – С. 149–153. – Бібліогр.: 3 назви. |
| URI: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/10999 |
| Appears in Collections: | Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування: збірник наукових праць, № 40 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 40_149Kysil.pdf | 551.75 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.