1. ELAKPI
2. Наукова періодика
3. Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування: збірник наукових праць
4. 2010
5. Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування: збірник наукових праць, № 40

Назва:	Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки
Інші назви:	Formation of nano-sizes in microelectronics Формирование наноразмеров структур микроэлектроники
Автори:	Кисіль, О. С. Kysil, O. S. Кисиль, О. С.
Ключові слова:	йонне травлення швидкість травлення ion etching etching speed ионное травление скорость травления
Дата публікації:	2010
Видавництво:	НТУУ "КПІ"
Бібліографічний опис:	Кисіль, О. С. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки / О. С. Кисіль // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2010. – № 40. – С. 149–153. – Бібліогр.: 3 назви.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу):	https://ela.kpi.ua/handle/123456789/10999
Розташовується у зібраннях:	Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування: збірник наукових праць, № 40

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.