Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі

Лупина, Борис Іванович

Повний запис метаданих

Поле DC	Значення	Мова
dc.contributor.advisor	Борисов, Олександр Васильович	-
dc.contributor.author	Лупина, Борис Іванович	-
dc.date.accessioned	2017-03-27T13:41:29Z	-
dc.date.available	2017-03-27T13:41:29Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Лупина, Б. І. Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Лупина Борис Іванович. – Київ, 2017. – 169 с.	uk
dc.identifier.uri	https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19108	-
dc.language.iso	uk	uk
dc.subject	терморезисторний первинний перетворювач	uk
dc.subject	мікроелектромеханічна система	uk
dc.subject	тепловий опір	uk
dc.subject	калориметричний метод	uk
dc.subject	MEMS thermal transducer	en
dc.subject	self-heating	en
dc.subject	thermal feedback	en
dc.subject	calorimetric sensor	en
dc.subject	терморезисторный первичный преобразователь	ru
dc.subject	микроэлектромеханическая система	ru
dc.subject	тепловое сопротивление	ru
dc.subject	калориметрический метод	ru
dc.title	Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі	uk
dc.type	Thesis Doctoral	uk
thesis.degree.speciality	05.27.01 – твердотільна електроніка	uk
dc.contributor.degreegrantor	Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»	uk
dc.contributor.degreefaculty	Електроніки	uk
thesis.degree.name	кандидат технічних наук	uk
thesis.degree.level	candidate	uk
dc.format.page	169 с.	uk
dc.status.pub	published	uk
dc.publisher.place	Київ	uk
dc.subject.udc	621.382:[621.3.049.77:621.316.825](043.3)	uk
dc.description.abstractuk	Дисертаційна робота присвячена розробці терморезисторних первинних перетворювачів (ТРПП) за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії та встановленню фізико-технічних і конструктивних закономірностей зв’язку їх електричних і температурних характеристик із параметрами оточуючого середовища. Виконано моделювання місткових і мембранних термоізольованих структур в каналі прямокутного перетину на основі спільного розв’язку рівнянь теплопровідності для місткового перетворювача і середовища в каналі. Встановлено аналітичну залежність теплового опору термоізольованої структури від теплопровідності середовища, форми і геометричних розмірів теплогенеруючого елементу і каналу. Доведено функціональні і конструктивно-топологічні переваги багатоелементних ТРПП над одноелементними аналогами на прикладі калориметричного ТРПП лінійної швидкості рідини та газу. Аналітично встановлено, що діапазон монотонної лінійної залежності вихідної характеристики триелементного калориметричного ТРПП є конструкттивно керованим, а чутливість занурювального перетворювача шириною 40 мкм в каналі висотою 300 мкм в 2,5 рази вища за чутливість одноелементного аналога за величини лінійної швидкості повітря в каналі 0,1 м/с. Виявлено закономірності впливу зміни температури вимірюваного середовища на характеристику перетворення теплогенеруючого елементу в самозбалансованих місткових схемах, розроблено новий спосіб компенсації температурної чутливості за методом модуляції струму живлення. Розроблено способи виготовлення первинних перетворювачів, способи вимірювання абсолютного тиску та густини газів за методикою динамічного нагрівання. Проведено апробацію перетворювачів лінійної швидкості (об’ємних витрат) газу в приладах діагностики функції зовнішнього дихання людини з виконанням комплексу медико-технічних вимог до сучасних спірометрів.	uk
dc.contributor.degreedepartment	Мікроелектроніки	uk
Розташовується у зібраннях:	Дисертації (вільний доступ) Дисертації (МЕ)

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.