https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19606| Title: | Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники |
| Other Titles: | Nano-polishing substrates for optics and microelectronics |
| Authors: | Филатов, Юрий Данилович Сидорко, Владимир Игоревич Юрчишин, Оксана Ярославовна Filatov, Yu. Sidorko, V. Yurchyshyn, O. |
| Keywords: | полирование монокристаллы наночастицы коллоидная система шероховатость полірування монокристали наночастинки колоїдна система шорсткість Single crystals nanoparticles colloidal system roughness |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | НТУУ "КПІ" |
| Citation: | Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Юрчишин О. Я. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2016. – № 1(76). – С. 133–138. – Бібліогр.: 10 назв. |
| URI: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19606 |
| DOI: | http://dx.doi.org/10.20535/2305‐9001.2016.76.67243 |
| Appears in Collections: | Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування: збірник наукових праць, № 1(76) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| VM_18_Filatov.pdf | 902.63 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.