Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные  технологии

Младенов, Георги Михайлов; Спивак, Виктор Михайлович; Колева, Елена Георгиева; Богдан, Александр Владимирович

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Младенов, Георги Михайлов	-
dc.contributor.author	Спивак, Виктор Михайлович	-
dc.contributor.author	Колева, Елена Георгиева	-
dc.contributor.author	Богдан, Александр Владимирович	-
dc.date.accessioned	2017-11-15T13:21:19Z	-
dc.date.available	2017-11-15T13:21:19Z	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.citation	Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии [Электронний ресурс] : монография / Г. М. Младенов, В. М. Спивак, Е. Г. Колева, А. В. Богдан. – Электронные текстовые данные (1 файл: 11,85 Мбайт). – Киев - София : Освіта України, 2010. – 331 с. – Заглавие с экрана.	uk
dc.identifier.isbn	966-8934-25-3 (кн.1)	-
dc.identifier.isbn	966-8934-17-2	-
dc.identifier.uri	https://ela.kpi.ua/handle/123456789/21147	-
dc.language.iso	ru	uk
dc.subject	наноэлектронные технологии	uk
dc.subject	наноструктуры	uk
dc.subject	ионная имплантация	uk
dc.subject	ионная литография	uk
dc.subject	пористый кремний	uk
dc.subject	наноэлектронные устройства	uk
dc.title	Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии	uk
dc.type	Book	uk
dc.format.page	331 с.	uk
dc.publisher.place	Киев ; София	uk
dc.subject.udc	621.3.049.77	uk
dc.description.abstractru	Цель монографии – введение читателей в проблематику и анализ современного состояния наноэлектроники, в виде сравнительно краткого предварительного анализа способов получения и исследования современных и перспективных наноматериалов и технологии получения на их основе электронных наноэлементов; общих принципов и свойств современной наноэлектроники. Монография состоит из двух книг. Первая книга посвящена введению в наноэлектронные технологии. Рассмотрены свойства и методы анализа поверхностей и наноструктур, технологические методы получения тонких пленок методами ионной имплантации, ионного травления, ионной литографии; технологии получения материалов для наноэлектроники на основе пористого кремния, углеродных наноструктурных материалов. Во второй книге рассматриваются результаты некоторых исследований наноструктурных материалов и функциональных наноэлектронных устройств. Монография предназначена для широкого круга читателей – от специалистов до студентов вузов электронных направлений обучения.	uk
dc.publisher	Освіта України	uk
Appears in Collections:	Монографії (ЗТРІ)