https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30024| Назва: | Напівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектів |
| Автори: | Михайленко, Ігор Всеволодович |
| Науковий керівник: | Орлов, Анатолій Тимофійович |
| Ключові слова: | анізотропія перетворювачі механічних величин ефект тензо-е.р.с МЕМС інтегральний перетворювач тиску anisotropy transducers of mechanical values tenso-emf-effect MEMS integrated pressure transducer анизотропия преобразователи механических величин эффект тензо-э.д.с МЭМС интегральный преобразователь давления |
| Дата публікації: | 2019 |
| Бібліографічний опис: | Михайленко, І. В. Напівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектів : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Михайленко Ігор Всеволодович. – Київ, 2019. – 128 с. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30024 |
| Розташовується у зібраннях: | Дисертації (вільний доступ) Дисертації (МЕ) |
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Mikhailenko_diss.pdf | 3.66 MB | Adobe PDF | ![]() Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.