https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097| Title: | Моделювання надвисокочастотного генератора плазми |
| Other Titles: | Simulation of microwave plasma generator Моделирование сверхвысокочастотного генератора плазмы |
| Authors: | Перевертайло, Володимир Володимирович |
| Keywords: | надвисокочастотний генератор плазми 3D моделювання НВЧ тракт хвилевід microwave plasma generator 3D simulation microwave path waveguide сверхвысокочастотный генератор плазмы 3D моделирование СВЧ тракт волновод |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | КПІ ім. Ігоря Сікорського |
| Citation: | Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв. |
| URI: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097 |
| DOI: | https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252 |
| Appears in Collections: | Мікросистеми, Електроніка та Акустика: науково-технічний журнал, Т. 23, № 1(102) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| MEA2018_23-1_p16-22.pdf | 904.45 kB | Adobe PDF | ![]() View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License