Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097
Title: Моделювання надвисокочастотного генератора плазми
Other Titles: Simulation of microwave plasma generator
Моделирование сверхвысокочастотного генератора плазмы
Authors: Перевертайло, Володимир Володимирович
Keywords: надвисокочастотний генератор плазми
3D моделювання
НВЧ тракт
хвилевід
microwave plasma generator
3D simulation
microwave path
waveguide
сверхвысокочастотный генератор плазмы
3D моделирование
СВЧ тракт
волновод
Issue Date: 2018
Publisher: КПІ ім. Ігоря Сікорського
Citation: Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв.
URI: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097
DOI: https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252
Appears in Collections:Мікросистеми, Електроніка та Акустика: науково-технічний журнал, Т. 23, № 1(102)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
MEA2018_23-1_p16-22.pdf904.45 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record


This item is licensed under a Creative Commons License Creative Commons