Skip navigation
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097
Назва: Моделювання надвисокочастотного генератора плазми
Інші назви: Simulation of microwave plasma generator
Моделирование сверхвысокочастотного генератора плазмы
Автори: Перевертайло, Володимир Володимирович
Ключові слова: надвисокочастотний генератор плазми
3D моделювання
НВЧ тракт
хвилевід
microwave plasma generator
3D simulation
microwave path
waveguide
сверхвысокочастотный генератор плазмы
3D моделирование
СВЧ тракт
волновод
Дата публікації: 2018
Видавництво: КПІ ім. Ігоря Сікорського
Бібліографічний опис: Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097
DOI: https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252
Розташовується у зібраннях:Мікросистеми, Електроніка та Акустика: науково-технічний журнал, Т. 23, № 1(102)

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
MEA2018_23-1_p16-22.pdf904.45 kBAdobe PDFЕскіз
Переглянути/відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики


Ліцензія на матеріал: Ліцензія Creative Commons Creative Commons