https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097| Назва: | Моделювання надвисокочастотного генератора плазми |
| Інші назви: | Simulation of microwave plasma generator Моделирование сверхвысокочастотного генератора плазмы |
| Автори: | Перевертайло, Володимир Володимирович |
| Ключові слова: | надвисокочастотний генератор плазми 3D моделювання НВЧ тракт хвилевід microwave plasma generator 3D simulation microwave path waveguide сверхвысокочастотный генератор плазмы 3D моделирование СВЧ тракт волновод |
| Дата публікації: | 2018 |
| Видавництво: | КПІ ім. Ігоря Сікорського |
| Бібліографічний опис: | Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097 |
| DOI: | https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252 |
| Розташовується у зібраннях: | Мікросистеми, Електроніка та Акустика: науково-технічний журнал, Т. 23, № 1(102) |
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| MEA2018_23-1_p16-22.pdf | 904.45 kB | Adobe PDF | ![]() Переглянути/відкрити |
Ліцензія на матеріал: Ліцензія Creative Commons