1. ELAKPI
2. Наукова періодика
3. Наукові вісті КПІ: міжнародний науково-технічний журнал
4. 2009
5. Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 6(68)

Назва:	Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001)
Автори:	Макогон, Ю. М. Сидоренко, С. І. Павлова, О. П. Вербицька, Т. І.
Дата публікації:	2009
Видавництво:	НТУУ «КПІ»
Бібліографічний опис:	Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : міжнародний науково-технічний журнал. – 2009. – № 6(68). – С. 98–103. – Бібліогр.: 10 назв.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу):	https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36483
Розташовується у зібраннях:	Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 6(68)

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.