https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36483| Поле DC | Значення | Мова |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Макогон, Ю. М. | - |
| dc.contributor.author | Сидоренко, С. І. | - |
| dc.contributor.author | Павлова, О. П. | - |
| dc.contributor.author | Вербицька, Т. І. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-30T10:03:29Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-30T10:03:29Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.citation | Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : міжнародний науково-технічний журнал. – 2009. – № 6(68). – С. 98–103. – Бібліогр.: 10 назв. | uk |
| dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36483 | - |
| dc.language.iso | uk | uk |
| dc.source | Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал, 2009, № 6(68) | uk |
| dc.title | Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001) | uk |
| dc.type | Article | uk |
| dc.format.pagerange | С. 98–103 | uk |
| dc.publisher.place | Київ | uk |
| dc.publisher | НТУУ «КПІ» | uk |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 6(68) | |
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2009-6-15.pdf | 446.78 kB | Adobe PDF |  Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.