https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828| Title: | Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур |
| Authors: | Королевич, Любомир Миколайович |
| Advisors: | Борисов, Олександр Васильович |
| Keywords: | МДН-структура критерій вибору діелектрика high-k діелектрик питома ємність заслону ефективний заряд в діелектрику щільність поверхневих станів міжвузловий аспект кристалічної решітки MIS structure insulator choosing criterion high-k dielectric specific gate capacitance effective charge in the dielectric surface charge density interstitial aspect of crystalline lattice МДП-структура критерий выбора диэлектрика диэлектрик удельная емкость затвора эффективный заряд в диэлектрике плотность поверхностных состояний межузловой аспект кристаллической решетки |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Королевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 150 с. |
| URI: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828 |
| Appears in Collections: | Дисертації (вільний доступ) Дисертації (МЕ) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Korolevych_dys.pdf | 5.56 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.