https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828| Назва: | Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур |
| Автори: | Королевич, Любомир Миколайович |
| Науковий керівник: | Борисов, Олександр Васильович |
| Ключові слова: | МДН-структура критерій вибору діелектрика high-k діелектрик питома ємність заслону ефективний заряд в діелектрику щільність поверхневих станів міжвузловий аспект кристалічної решітки MIS structure insulator choosing criterion high-k dielectric specific gate capacitance effective charge in the dielectric surface charge density interstitial aspect of crystalline lattice МДП-структура критерий выбора диэлектрика диэлектрик удельная емкость затвора эффективный заряд в диэлектрике плотность поверхностных состояний межузловой аспект кристаллической решетки |
| Дата публікації: | 2021 |
| Бібліографічний опис: | Королевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 150 с. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828 |
| Розташовується у зібраннях: | Дисертації (вільний доступ) Дисертації (МЕ) |
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Korolevych_dys.pdf | 5.56 MB | Adobe PDF |  Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.