Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії

Білокінь, С. О.; Bilokon, S.; Билоконь, С. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Білокінь, С. О.	-
dc.contributor.author	Bilokon, S.	-
dc.contributor.author	Билоконь, С. А.	-
dc.date.accessioned	2014-01-19T12:02:07Z	-
dc.date.available	2014-01-19T12:02:07Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.citation	Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / Білокінь С. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2013. – Вип. 46. – С. 112–117. – Бібліогр.: 5 назв.	uk
dc.identifier.uri	https://ela.kpi.ua/handle/123456789/6543	-
dc.language.iso	uk	uk
dc.source	Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць	uk
dc.subject	атомно-силова мікроскопія	uk
dc.subject	мікротвердість	uk
dc.subject	зносостійкість	uk
dc.subject	наноелектроніка	uk
dc.subject	склерометрія	uk
dc.subject	atomic-force microscopy	uk
dc.subject	microhardness	uk
dc.subject	wearproofness	uk
dc.subject	nanoelectronics	uk
dc.subject	sclerometry	uk
dc.subject	атомно-силовая микроскопия	uk
dc.subject	микротвердость	uk
dc.subject	износостойкость	uk
dc.subject	наноэлектроника	uk
dc.subject	склерометрия	uk
dc.title	Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії	uk
dc.title.alternative	Determination of physical and mechanical descriptions of surfaces of wares nanoelectronics by method of sclerometry	uk
dc.title.alternative	Определение физико-механических характеристик поверхностей изделий наноэлектроники методом склерометрии	uk
dc.type	Article	uk
thesis.degree.level	-	uk
dc.format.pagerange	С. 112-117	uk
dc.status.pub	published	uk
dc.publisher.place	Київ	uk
dc.subject.udc	620.178.151.6	uk
dc.description.abstractuk	Показана перспективність методу атомно-силової мікроскопії, як єдиного методу дослідження мікрогеометричних параметрів та фізико-механічних характеристик (в нанометровому діапазоні) в одному циклі сканування за допомогою кремнієвого зонду, модифікованого вуглецевим покриттям. Описана методика та наведені дослідження мікротвердості та зносостійкості тонких покриттів SiO2, HfO2 та Au (мікротвердість, відповідно, 9,02 ГПа, 7,8 ГПа, 0,34 ГПа; зносостійкість, відповідно, 18,3 у.о.; 23,1 у.о.; 31,6 у.о.). В результаті порівняння з довідниковими даними визначено, що мікротвердість поверхневого шару матеріалу більша за мікротвердість в глибині матеріалу.	uk
dc.description.abstracten	Perspective of method of atomic-force microscopy is shown, as an only method of research microgeometrical parameters and physical and mechanical descriptions (in a nanometer range) in one loop of scan-out. Researches were conducted by means of the silicic probe modified to carbon coverages. Described methodology and the brought researches over microhardness and wearproofness of thin coverages SiO2, HfO2 and Au (microhardness, accordingly, 9,02 GPа, 7,8 GPа, 0,34 GPа; wearproofness, accordingly, 18,3; 23,1; 31,6). As a result of comparing to reference data certainly, that microhardness of superficial layer of material anymore its microhardness at material.	uk
dc.description.abstractru	Показана перспективность метода атомно-силовой микроскопии, как единственного метода исследования микрогеометрических параметров и физико-механических характеристик (в нанометровом диапазоне) в одном цикле сканирования с помощью кремниевого зонда, модифицированного углеродным покрытиям. Описана методика и приведены результаты исследования микротвердости и износостойкости тонких покрытий SiO2, HfO2 и Au (микротвердость, соответственно, 9,02 ГПа, 7,8 ГПа, 0,34 ГПа; износостойкость, соответственно, 18,3 у.е.; 23,1 у.е.; 31,6 у.е.). В результате сравнения со справочными данными определено, что микротвердость поверхностного слоя материала больше его микротвердости в глубине материала.	uk
dc.publisher	НТУУ "КПІ"	uk
Appears in Collections:	Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 46