Орлов, Андрій КостянтиновичКравченко, Андрій Андрійович2025-06-272025-06-272025Кравченко? А. А. Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3 : дипломна робота ... бакалавра : 132 Матеріалознавство / Кравченко Андрій Андрійович. – Київ, 2025. – 61 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/74497Метою дипломної роботи є дослідження іонно-індукованих структурно-фазових перетворень у багатошарових тонкоплівкових композиціях [Ni/Ti]x3, осаджених на кремнієву підкладку методом магнетронного розпорошення. Для цього проведено іонну імплантацію іонами Ar⁺ та N⁺ з енергією 110 кеВ та подальший аналіз за допомогою рентгеноструктурного фазового аналізу та вторинної іонної мас-спектрометрії. У результаті встановлено, що іони Ar⁺ спричиняють перемішування шарів Ni та Ti з утворенням NiTi-фази, тоді як іони N⁺ індукують формування дифузійно-бар’єрних прошарків TiN, які перешкоджають фазоутворенню.61 с.ukдифузіяіонна обробкаструктурно-фазовіперетвореннятонкоплівкові композиціїNiTiion treatmentshape memory alloysstructuraland phase transformationsthin filmcompositionsBachelor Thesis621.785