Волошко, Світлана МихайлівнаГрищенко, Вікторія Андріївна2020-07-012020-07-012020-05Грищенко, В. А. Вплив йонного опромінення на структурно-фазові перетворення в тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr при термічному відпалі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Грищенко Вікторія Андріївна. – Київ, 2020. – 81 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/34696Магістерська дисертація: 81 сторінка, 41 рисунків, 12 таблиць, 38 літературних джерел. Об’єкт досліджень:структурно-фазові перетворення в наношарових композиціях Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Cr за умов вакуумного термічного відпалу та з додатковою йонно-плазмовою обробкою. Мета роботи: дослідження особливостей впливу попередньої йонно-плазмової обробки на структурно-фазові перетворення у тонких плівках Cu/Cr, Ni/Cr, Ni/Cu/Crза умов термічного відпалу. Методи дослідження: мас-спектрометрія вторинних йонів, трансмісійна електронна мікроскопія, in-situ високоенергетична електронна дифракція. Досліджено особливості формування структури та фазового складу систем Cu/Cr, Ni/Cr та Ni/Cu/Cr при відпалі у вакуумі у широкому температурному інтервалі. Тонкоплівкові композиції були одержані шляхом термічного випаровування у вакуумі і, в подальшому, піддавалися йонно-плазмовій та термічній обробці до температур 690 °C. Після обробки плівки досліджено методами мас-спектрометрії вторинних йонів, трансмісійною електронною мікроскопією, in-situ високоенергетичною електронною дифракцією. Зафіксовано розвиток окисно-відновних процесів, які ефективно контролюються шляхом використання додаткового плазмового оброблення плівок. Йонний низькоенергетичний вплив стабілізує структуру досліджуваних систем шляхом гальмування процесів рекристалізації.ukтонкоплівкова композиціяструктурно-фазові перетвореннятермічний відпалйонна обробкаелектронна мікроскопіяthin film compositionstructural-phase transformationsthermal annealingion actionelectronic microscopyMaster Thesis81 с.