Бовтун, Віктор ПетровичЛеміш, Анатолій Євгенійович2024-06-272024-06-272024Леміш, А. Є. Особливості росту мікроструктур на основі ZnO:Cd : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Леміш Анатолій Євгенійович. – Київ, 2024. – 89 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67513Об’єкт дослідження – структура та морфологія мікростуктур ZnO:Cd, синтезованих методом APMOCVD. Мета роботи – встановлення впливу концентрації домішки кадмію на особливості росту, структуру та морфологію мікроструктур ZnO:Cd, вирощених методом APMOCVD на кремнієвих підкладках. Методи дослідження – рентгенодифракційний аналіз (РДА), сканувальна електронна мікроскопія (СЕМ) та енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія (ЕДРС). Визначено вплив різної концентрації домішки Cd в суміші метал-органічних вихідних речовин для синтезу на морфологію та структуру мікроструктур ZnO, осаджених на кремнієві підкладки за допомогою методу APMOCVD. Проведено аналіз результатів методами РДА, СЕМ та ЕДРС мікроструктур ZnO з концентрацією домішки Cd 1, 2,5, 5, 7,5 та 10 мас. % в суміші метал-органічних вихідних речовин для синтезу Zn(AA)-Cd(AA). Аналіз результатів методом РДА показав, що зразки мають структуру кристалічної ґратки вюрцитного типу, властивого ZnO, з наявним лінійним зміщенням піків, які викликані наявністю домішки Cd в суміші метал-органічних вихідних речовин Zn(AA)-Cd(AA). Продемонстровано, що рентгенограми зразків не містять додаткових фаз, пов’язаних із Cd чи оксидом кадмію. У результаті аналізу зображень СЕМ встановлено, що морфологічно зразки є гілчастими агломераціями, утвореними з губчастих сфер розміром 20-40 нм, а зі збільшенням концентрації домішки Cd в суміші метал-органічних вихідних речовин для синтезу Zn(AA)-Cd(AA) щільність скупчень зменшується, а шорсткість поверхні оксиду цинку збільшується. Елементний аналіз показав наявність Zn, O, Si та С, а Cd був виявлений на фоні похибки. На основі результатів аналізу було зроблено висновок про можливе заміщення незначної кількості іонів Zn2+ іонами Cd2+ у вузлах кристалічної ґратки у зв’язку з наявністю лінійного зміщення піків на рентгенограмах, або ж Cd відіграв роль каталізатора під час осадження ZnO на підкладку, тим самим вплинувши на щільність скупчень структур та шорсткість поверхні оксиду цинку.89 с.ukлегований кадмієм оксид цинкумікроструктуриapmocvdсемрдаморфологіяструктураелементний аналізcadmium-doped zinc oxidemicrostructuressemxrdmorphologystructureelemental analysisBachelor Thesis