Михайленко, Ігор Всеволодович2019-11-122019-11-122019Михайленко, І. В. Напівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектів : автореф. дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Михайленко Ігор Всеволодович. – Київ, 2019. – 19 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30025ukанізотропіяперетворювачі механічних величинефект тензо-е.р.сМЕМСінтегральний перетворювач тискуanisotropytransducers of mechanical valuestenso-emf-effectMEMSintegrated pressure transducerанизотропияпреобразователи механических величинэффект тензо-э.д.сМЭМСинтегральный преобразователь давленияНапівпровідникові перетворювачі механічних величин з використанням поперечних тензоефектівThesis19 с.621.382 043.744(043.3)