Білокінь, С. О.Bilokon, S.Билоконь, С. А.2014-01-192014-01-192013Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / Білокінь С. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2013. – Вип. 46. – С. 112–117. – Бібліогр.: 5 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/6543ukатомно-силова мікроскопіямікротвердістьзносостійкістьнаноелектронікасклерометріяatomic-force microscopymicrohardnesswearproofnessnanoelectronicssclerometryатомно-силовая микроскопиямикротвердостьизносостойкостьнаноэлектроникасклерометрияВизначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометріїDetermination of physical and mechanical descriptions of surfaces of wares nanoelectronics by method of sclerometryОпределение физико-механических характеристик поверхностей изделий наноэлектроники методом склерометрииArticleС. 112-117620.178.151.6