Верцанова, Олена ВікторівнаЧипегін, Віталій Віталійович2024-06-272024-06-272024Чипегін, В. В. Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Чипегін Віталій Віталійович. – Київ, 2024. – 68 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67519Роботу викладено на 63 сторінках, вона містить 4 розділи, 25 ілюстрацій, 3 таблиці та 17 джерел в списку використаної літератури. Об’єктом дослідження став метод створення прототипів наноприладів із застосуванням технології мікроскопії із сфокусованим іонним пучком. Предмет роботи – прототипування та створення наноприладів. Метою данної роботи стали методи створення та дослідження прототипів найпростіших наноструктур та наноприладів. Перший інформаційно-аналітичний розділ пояснює різні методи створення та дослідження наноструктур та наноприладів. У другому розділі викладено принцип роботи та структуру мікроскопу із сфокусованим іонним пучком. У третьому показані вже існуючі прототипи наноприладів та різні матеріали для їх створення. У четвертому переваги та недоліки методу мікроскопії із сфокусованим іонним пучком.68 с.ukBachelor Thesis