Гераїмчук, Михайло Дем'яновичІвахів, Орест ВасильовичРепетило, Тарас Михайлович2018-02-262018-02-262017Гераїмчук, М. Д. Основи проектування МЕМС перетворювачів механічних величин в електричну [Електронний ресурс] : навчальний посібник для студентів спеціальності 152 «Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка» / М. Д. Гераїмчук, О. В. Івахів, Т. М. Репетило ; КПІ ім. Ігоря Сікорського, НУ «Львівська політехніка». – Електронні текстові дані (1 файл: 27,53 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2017. – 108 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22175ukнетрадиційні відновлювані джерела електричної енергіїмікроперетворювачі механічних коливань і вібрацій в електричний сигналмікроелектромеханічні системиBook108 с.