Ільченко, Валентин ІвановичФедоров, Антон Олександрович2019-08-272019-08-272019-06Федоров, А. О. Час життя в пористих структурах з нанокристалами металів : дипломна робота … бакалавра : 6.050801 Мікро- та наноелектроніка / Федоров Антон Олександрович. – Київ, 2019. – 73 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/28877Загальний обсяг роботи складає 72 сторінки, кількість ілюстрацій - 32, таблиць - 2, джерел за переліком посилань - 18. Час життя носіїв неврівноважених носіїв заряду є важливим параметром для напівпровідникових приладів та пристроїв. Зазвичай вважається, що присутність металів в кремнії призводить до погіршення об’ємних властивостей напівпровідника. В останні три десятиліття почав набувати популярності такий матеріал як пористий кремній, одним із способів отримання якого є хімічне травлення в присутності металів. Метою роботи є дослідження часу життя неврівноважених носіїв заряду в пористому кремнії, виготовленому методом хімічного травлення в присутності металів. Важливим факторов є присутність різних металів при травленні крепнію. Для здійснення дослідження необхідно про зробии наступне: • Провести огляд літератури та ознайомитися с особливостями пористого кремнію та методами його виготовлення. • Виготовити достатню кількість різноманітних зразків пористого кремнію • Провести виміри часу життя • Зробити висновки щодо отриманох під час дослідження інформації Об’єктами дослідження є зразки пористого кремнію, що містять ту чи іншу кількість металічних речовин. У роботі було виористано наступні методи дослідження: • Отримання реалксаційної характеристики носіїв заряду методом модцляції в точковому контакті. • Вимірювання опору зразків • Вивчення морфології зразків сенсорів за допомогою растрової електронної мікроскопії. Наукова новизна полягає у дослідженні параметрів пористого кремнію, протравленного саме в присутності Ag, Au та Cu з подальшим видаленням металічних наночасток у деяких випадках.ukпористий кремнійметод травлення в присутності металіврелаксаційна характеристикачас життя носіїв зарядуporous siliconmethod of etching in the presence of metalsrelaxation characteristiclife time of charge carrierBachelor Thesis73 с.