Діденко, Юрій ВікторовичБраге, Ксенія Сергіївна2018-05-212018-05-212018Браге, К. С. Метод вимірювання НВЧ- параметрів матеріалів на основі тонкого діелектричного резонатора : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Браге Ксенія Сергіївна. – Київ, 2018. – 94 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22979В даній роботі розглянуто питання загальних теоретичних відомостей з складених та тонких діелектричних резонаторів та методів вимірювання вимірювання НВЧ параметрів діелектричних матеріалів. Досліджено метод тонкого діелектричного резонатора та наведено результати експерементальних досліджень. При досліджені тонких діелектричних плівок виникають труднощі, тому що методи не забезпечують достатньої точності. При дослідженні метода тонких плівок результати показали, що при зменшенні товщини базового резонатора, збільшується точність. Тому метою роботи є адаптація методу складеного діелектричного резонатора для вимірювання параметрів тонких плівок. Для досягнення поставленої мети необхідно було вирішити наступні задачі: 1. Проаналізувати існуючи методи вимірюваняя НВЧ – параметрів діелектричних матеріалів. 2. Проаналізувати властивості тонкого діелектричного резонатора (ТДР). 3. Запропонувати метод дослідження параметрів тонких плівок на основі ТДР. 4. Експерементально перевірити метод тонких плівок на основі ТДР. Предметом і об’єктом даної робот є: Об’єкт: тонкий діелектричний резонатор Предмет: електродинамічні властивості тонкого діелектриного резонатора Наукова новизна: Теоретичне та експериментальне дослідження електро-динамічних властивостей ТДР показує, що на основі ТДР можна з достатньою точністю вимірювати НВЧ – властивості тонких діелектричних плівок.ukскладений резонатордіелектрична проникністьтангенс кута діелектричних втраттонкий діелектричний резонаторНВЧ параметричутливість методуolding of the resonatordielectric penetrationtangent of the kut deelectrical wastethin dielectric resonatorNVC parametressensitivity to the methodMaster Thesis94 c.621.372.41