Дідусь, Р. І.Лапшуда, В. А.Гондовська, А. С.Ященко, О. В.2023-03-312023-03-312021Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки / Дідусь Р. І., Лапшуда В. А., Гондовська А. С., Ященко О. В. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2021. – Т. 4, № 1. – С. 227276-1 - 227276-6. – Бібліогр.: 13 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/54170У статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу. Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих за температури 50С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів на основі оксиду молібдену.ukоксид молібденунаноцелюлозагнучка електронікаmolybdenum oxidenanocelluloseflexible electroniсsArticleС. 227276-1 - 227276-6https://doi.org/10.20535/2617-0965.eae.227276621.30000-0003-4252-70490000-0002-1234-37430000-0002-9795-768X0000-0003-3716-8707