Перевертайло, Володимир Володимирович2020-04-282020-04-282018Перевертайло, В. В. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми / Перевертайло В. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2018. – Т. 23, № 1(102). – С. 16–22. – Бібліогр.: 12 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097ukнадвисокочастотний генератор плазми3D моделюванняНВЧ трактхвилевідmicrowave plasma generator3D simulationmicrowave pathwaveguideсверхвысокочастотный генератор плазмы3D моделированиеСВЧ трактволноводArticleС. 16-22https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252621.38