Обухова, Тетяна ЮріївнаТимошенко, Олексій Ігорович2019-01-172019-01-172018Тимошенко, О. І. Сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Олексій Ігорович Тимошенко. - Київ, 2018. - 87 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25869ukпористий кремнійдатчик газулеткі органічні сполукихеморезисторадсорбціяporous silicongas sensorvolatile organic compoundschemoresistoradsorptionСенсори токсичних випаровувань на пористому кремніїMaster Thesis87 с.543.272.75