Обухова, Тетяна ЮріївнаТимошенко, Олексій Ігорович2019-01-172019-01-172018Тимошенко, О. І. Сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Олексій Ігорович Тимошенко. - Київ, 2018. - 87 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25869Загальний обсяг роботи складає 89 сторінок, кількість ілюстрацій — 23, таблиць — 25, джерел за переліком посилань — 26. Летючі органічні сполуки (ЛОС) в урбанізованих зонах становлять значну частку газоподібних забруднювачів, спричинених вихлопними газами, випаровуванням нафтопродуктів та утилізацією органічних розчинників. ЛОС приймають участь у багатьох фотохімічних реакціях, що ведуть до шкідливих або навіть токсичних продуктів. Проте обсяги виробництва, де використовуються ЛОС, з кожним роком не тільки не зменшуються, а навпаки – підвищуються. Зважаючи на таку ситуацію, все більше приділяють увагу сенсорним методам отримання інформації про якість повітря. Серед переваг хімічних датчиків: низька вартість виготовлення, простий дизайн та можливість мініатюризації, а також відносно хороші метрологічні параметри, такі як чутливість, селективність, діапазон вимірювань, лінійність або час відгуку. Метою роботи є створення сенсорів токсичних випаровувань на пористому кремнії. Для досягнення поставленої мети потрібно вирішити наступні завдання: - розглянути теорію абсорбції та основні властивості пористого кремнію для обґрунтування вибору цього матеріалу; - вибрати ЛОС, реакція сенсора на які буде досліджуватись, та обґрунтувати вибір; - розглянути переваги та недоліки різних видів хімічних датчиків для вимірювання ЛОС; - розробити сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії та визначити їх чутливість; - провести кореляцію чутливості сенсорів з морфологією їх поверхні. Об’єктом дослідження є сенсори токсичних випаровувань на пористому кремнії. Предметом дослідження є вплив парів газів на електричні властивості сенсорів. У роботі були використані наступні методи дослідження: - вимірювання вольт-амперних характеристик зразків сенсорів; - зняття залежностей струму від часу зразків сенсорів; - вивчення морфології зразків сенсорів за допомогою растрової електронної мікроскопії. Наукова новизна полягаю у кореляції чутливості зразків сенсорів з морфологією поверхні. Практичне значення одержаних результатів – розробка сенсорів токсичних випаровувань з певною чутливістю та селективністю в залежності від морфології поверхні.ukпористий кремнійдатчик газулеткі органічні сполукихеморезисторадсорбціяporous silicongas sensorvolatile organic compoundschemoresistoradsorptionMaster Thesis87 с.543.272.75