Володарський, Євген ТимофійовичШантир, Антон Сергійович2014-12-082014-12-082014Шантир А. С. Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів : дис. ... канд. техн. наук. : 05.01.02 – стандартизація, сертифікація та метрологічне забезпечення / А. С. Шантир. - К., 2014. - 203 л. + CD-ROMhttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/9685ukДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.калібруваннямасштабний коефіцієнтеквівалентний діаметр електронного зондарастровий електронний мікроскопобробка сигналівряд Еджвортакалибровкамасштабный коэффициентэквивалентный диаметр электронного зондарастровый электронный микроскопобработка сигналовряд Эджвортаcalibrationscale factorequivalent diameter of electron probescanning electron microscopesignals processingEdgeworth seriesThesis Doctoral203 л.006.91:621.385.833.28