Кузьмичёв, Анатолий ИвановичЧаплинский, Роман Юрьевич2015-11-192015-11-192015Чаплинский Р. Ю. Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение : дисс. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Р. Ю. Чаплинский. - К., 2015. - 195 л. + CD-ROMhttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/13908ruДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.газорозрядні джерела ННПгенерації озонунейтралізації чадного газурідкокристалічні дисплеїнаносферна літографіягазоразрядные источники ННПатмосферное давлениегенерации озонанейтрализации угарного газажидкокристаллические дисплеинаносферная литографияnonthermal plasmageneration of ozonemonoxide neutralizationliquid crystal displaynanosphere lithographyThesis Doctoral195 л.537.523