Формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb(1,82−2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) — функціональних елементах термоелектроніки

Макогон, Юрій МиколайовичБеддіс, ГунтерВербицька, Тетяна ІванівнаДаніель, МаркусШкарбань, Руслан Анатолійович2020-09-172020-09-172010Формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb(1,82−2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) — функціональних елементах термоелектроніки / Ю. М. Макогон, Г. Беддіс, Т. І. Вербицька, М. Даніель, Р. А. Шкарбань // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2010. – № 5(73). – С. 97–101. – Бібліогр.: 8 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36269ukФормування фазового складу і структури в нанорозмірних плівкових композиціях CoSb(1,82−2,51)(30 нм)/SiO2(100 нм)/Si(001) — функціональних елементах термоелектронікиFormation of phase composition and structure in nanosize thin film compositions CoSb(1,82–2,51)(30 nm)/SiO2(100 nm)/ Si(001) – functional elements of thermionicsФормирование фазового состава и структуры в наноразмерных пленочных композициях CoSb(1,82–2,51)(30 нм)/ SiO2(100нм)/Si(001) – функциональных элементах термоэлектроникиArticleС. 97-101539.216.2:661.685