Євтушенко, Арсеній ІвановичЄлізарова, Валерія Юріївна2024-06-272024-06-272024Єлізарова, В. Ю. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Єлізарова Валерія Юріївна. – Київ, 2024. – 103 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67530Магістерська робота викладена на 103 сторінках, містить 3 розділи, 60 ілюстрацій, 10 таблиць та 83 літературних джерела. Метою даної роботи є встановлення впливу напруги зміщення на підкладці на структуру та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених радіочастотним магнетронним розпиленням на кремнієвих та скляних підкладках. Предметом дослідження є аналіз впливу електричної напруги, прикладеної до підкладки, на структурні та оптичні характеристики тонких плівок ZnO:Al,N. В першому розділі було детально розглянуто літературні джерела в яких описуються основні методи осадження плівок. В другому розділі описано технологію синтезу та методи дослідження зразків тонких плівок ZnO:Al,N. У третьому розділі представлені результати дослідження структурних та оптичних характеристик плівок ZnO:Al,N, вирощених при різних значеннях напруги зміщення. Показано, що прикладення напруги зміщення на підкладку в процесі росту плівок впливає на швидкість росту, на структуру та оптичні властивості плівок.103 с.ukмагнетронне розпиленнянапруга зміщення підкладкирентгенівська дифракціяспектри пропусканнясканувальна електронна мікроскопіяZnO:Al Nmagnetron sputteringsubstrate bias voltageX-ray diffractiontransmission spectrascanning electron microscopyMaster Thesis