Маркіна, Ольга МиколаївнаВласюк, Віталій Анатолійович2019-03-272019-03-272018-12Власюк, В. А. Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Власюк Віталій Анатолійович. – Київ, 2018. – 81 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/26937Пояснювальна записка «Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах»: 101 с., 39 рис., 17 джерел. Мета роботи — підвищення точності вимірювання параметрів БЗП шляхом аналізу та узагальнення експериментальних результатів щодо закономірностей розподілу яскравості на поверхні ЗР. Об’єкт дослідження —параметри електронно-променевої БЗП, яка провадиться в вакуумній камері з метою отримання надчистих напівпровідникових матеріалів та матеріалів з заданими властивостями. Досліджено експериментально отримані функції розподілу яскравості на поверхні ЗР для різних режимів плавки. Розроблено методики та стенд для експериментального дослідження характеристик інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ. Прогнозні припущення щодо розвитку об’єкту дослідження — вдосконалення методології контролю температурних режимів в технології БЗП.ukтемператураінформаційно-вимірювальна система на ПЗЗвимірюванняинформационно-измерительные системы на ПЗСизмерениеMaster Thesis81 с.621.307.13