Безвесільна, Олена МиколаївнаКлочко, Олександр Сергійович2021-08-052021-08-052021-06Клочко, О. С. Ємнісний МЕМС чутливий елемент автоматизованого приладового комплексу : дипломний проект ... бакалавра : 151 Автоматизацiя та комп’ютерно-iнтегровані технологiї / Клочко Олександр Сергійович. - Київ, 2021. - 71 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/42990ukМЕМСЛБТємнісний-МЕМС чутливий елементавтоматизована система керуваннясистема стабілізаціїMEMSLBTcapacitive-MEMS sensitive elementautomated control systemstabilization systemЄмнісний-МЕМС чутливий елемент автоматизованого приладового комплексуBachelor Thesis71 с.