Верцанова, Олена ВікторівнаВорона, Артем Сергійович2024-06-262024-06-262023Ворона, А. С. Метод електронної мікроскопії для дослідження топології інтегральних схем : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ворона Артем Сергійович. – Київ, 2023. – 79 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67485Проведено детальний аналіз топології інтегральних схем. Досліджено різноманітні архітектурні рішення та їх вплив на ефективність та функціональність ІС. Особлива увага приділена технологічним вирішенням та їх впливу на характеристики інтегральних схем. Проаналізовано існуючі методи дослідження інтегральних схем та даних, які можна отримати цими методами. Розглянуто сучасні підходи до реверсивної інженерії та використання електронної мікроскопії в електроніці. Описано методи виявлення та аналізу мікросхем, а також ролі електронної мікроскопії в забезпеченні точного визначення топології ІС. Проведено глибокий аналіз застосування скануючої електронної мікроскопії для аналізу топології інтегральних схем. Виокремлено переваги та обмеження цього методу, а також розглянуто приклади успішних досліджень, в яких використовувалася скануюча електронна мікроскопія.79 с.ukелектронна мікроскопіяінтегральні схемиелектронні компонентиреверсивна інженеріятопологія інтегральних схемвізуалізація мікросхемelectron microscopyintegrated circuitselectronic componentsreverse engineeringtopology of integrated circuitsvisualization of microcircuitsMaster Thesis