Гільчук, Андрій ВолодимировичКондрахін, Михайло Вячеславович2024-10-242024-10-242024Кондрахін, М. В. Моделювання процесів росту тонких плівок кремнію з дихлорсилану методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску : дипломна робота ... бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Кондрахін Михайло Вячеславович. – Київ, 2024. – 44 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/70104Метою роботи є проведення огляду хімічного осадження з газової фази кремнію за Куном, пошуку можливих удосконалень даної моделі та імплементування результатів у Ansys Student, зокрема термодифузії. Використання більш точних методів росту плівок кремнію необхідно для поліпшення характеристик транзисторів, що вимагають високої точності в розмірах та однорідності матеріалу. Також, дозволятиме робити більш ефективні сонячні панелі, і зокрема сприятиме розвитку новітніх технологій, таких як квантові комп'ютери та фотоніка, де кремнієві плівки відіграють ключову роль у створенні ефективних квантових бітів та інтегрованих фотонних вузлів. Результати дослідження в Ansys Fluent показали, що термодифузія має значний вплив на швидкість росту плівки, а отже її врахування є важливим при моделюванні процесу росту плівок кремнію.44 c.Bachelor Thesis