Котенко, Ігор ЄвгенійовичШкамарда, Марія Василівна2018-06-222018-06-222018Шкамарда, М. В. Процеси фазоутворення в нанорозмірних шарах Ta/Ni при відпалі у вакуумі : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Шкамарда Марія Василівна. – Київ, 2018. – 107 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/23591Проведено аналіз літературних даних, що стосуються фазових перетворень в системі Ta/Ni, зокрема в наношаровому стані; визначено найбільш інформативні та доступні методики для аналізу фазового складу мікроструктури та електрофізичних властивостей системи Ta/Ni в наношаровому стані; змодельовано пошаровий розподіл компонентів структури Ta/Ni при вакуумно-термічному випаровуванні компонентів та їх конденсації на ситалову підкладинку; виготовлено зразки сконденсованих у вакуумі шарів системи Ta/Ni та проведено дослідження фазового складу та структури при різних температурах відпалу у вакуумі; методом ВІМС визначено пошаровий розподіл компонентів системи до та після відпалу; розроблено стартап-проект «Тонкоплівкові конденсатори на основі Ta/Ni»; було проведено аналіз шкідливих та небезпечних факторів праці. На основі результатів виконаних досліджень зроблено висновки.ukнанорозмірні плівкові композиціїдослідженнятанталнікельструктурно-фазові перетвореннявисокі температуриаморфні фазидифузіятермічне випаровуванняNano-Scaled Film CompositionsStudiesTantalumNickelStructu Ral-Phase TransitionsHigh TemperaturesAmorphic PhaseDiffusionThermal EvaporationMaster Thesis107 с.