Мачулянський, Олександр ВікторовичПанчук, Андрій Валентинович2023-09-082023-09-082023Панчук, А. В. Сенсор газу на основі поверхневого плазмонного резонансу : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Панчук Андрій Валентинович. – Київ, 2023. – 67 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60085Дипломна робота виконана на 53 сторінках, вони містять 4 розділи, 23 ілюстрацій, 12 таблиць та 55 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є сенсор газу на основі поверхневого плазмонного резонансу. Предметом дослідження є залежність оптичних параметрів ППР сенсорів газу від їх конструктивних параметрів. Метою роботи є визначення параметрів сенсорних елементів на основі поверхневого плазмонного резонансу залежно від їх конструктивних складових. Для досягнення поставленої мети в роботі вирішувались наступні завдання: - встановити залежності параметрів сенсорного елемента від товщини чутливої плівки (Au); - проаналізувати вплив додавання захисних шарів діелектрика (SiO2 і TiO2) за їх різних товщин; - знайти робочий спектральний діапазон електромагнітного випромінювання сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу. В першому розділі розглянуто особливості, ключові переваги та недоліки ППР. У другому розділі розглянуто теоретичні основи, необхідні для моделювання сенсорного елемента. В третьому та четвертому розділі за допомогою програмного забезпечення промодельовано сенсорний елемент із використанням діоксиду кремнію і діоксиду титану відповідно. Визначено їх параметри і проведено порівняння із сучасними сенсорами газу на основі ППР. Дані дослідження можуть використовуватись для розробки ППР сенсорів із заданими наперед оптичними параметрами; для вивчення роботи даних сенсорів.67 с.ukповерхневий плазмонний резонанссенсорний елементдіоксид кремніюдіоксид титанубагатошарова сенсорна структураsurface plasmon resonancetitanium dioxidesilicone dioxidemultilayer sensor elementBachelor Thesis