Кузьмичёв, Анатолий Иванович2021-05-272021-05-272008Кузьмичёв, А. И. Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления [Электронный ресурс] / А. И. Кузьмичёв. – Электронные текстовые данные (1 файл: 7,38 Мбайт). – Киев : Аверс, 2008. – 244 с. – Заглавие с экрана.966-8934-07-5https://ela.kpi.ua/handle/123456789/41218Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.ruмагнетронное распылениемагнетронные системыионно-плазменные технологиинанесение тонких пленок и покрытийBook244 с.621.793.18:621.38