Макогон, Юрій МиколайовичЯцун, Віталій Ігорович2020-01-232020-01-232019-12Яцун, В. І. Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Яцун Віталій Ігорович. – Київ, 2019. – 92 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/31051Магістерська дисертація: 92 с., 17 табл., 35 рис., 44 джерел Обʼєкт дослідження – фазові та структурні перетворення та термічна стабільність нанорозмірних плівкових композицій Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001). Предмет дослідження – процеси структурно-фазових перетворень та упорядкування у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/ Si(001). Мета дослідження – дослідження фазового складу та термічної стабільності моносиліциду NiSi у нанорозмірних плівкових композиціях Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах у вакуумі та азоті. Методи дослідження – рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних нейтралей, резистометрія, просвічуюча електронна мікроскопія поперечних перерізів, розрахунок термічних напружень і енергії фаз Гібса. Результати дослідження та їх новизна: встановлено, що додавання платини зменшує рівень стискаючих механічних напружень у плівці нікелю, що призводить до підвищення температури формування моносиліциду нікелю при подальших відпалах у вакуумі та азоті. Формування потрійної сполуки при відпалі у вакуумі відбувається при вищій температурі (870 К), ніж при відпалі в азоті. Силіцид Ni(Pt)Si залишається стабільним до температури 1170 К, що на 50 К вище, ніж при відпалі в азоті та на 100 К вище, ніж в плівковій композиції Ni(30нм)/Si(001). Це підтверджується низькими значеннями електроопору.ukмоносіліцид нікелюнанорозмірні плівкові композиціїструктурно-фазові перетвореннянікельплатинаnickel monosilicidenanosize filmsphase and structure transformationsnickelplatinumMaster Thesis92 с.