Макогон, Юрій МиколайовичЯцун, Віталій Ігорович2020-01-232020-01-232019-12Яцун, В. І. Термічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6нм)/Siеп/Si(001) при відпалах : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Яцун Віталій Ігорович. – Київ, 2019. – 92 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/31051ukмоносіліцид нікелюнанорозмірні плівкові композиціїструктурно-фазові перетвореннянікельплатинаnickel monosilicidenanosize filmsphase and structure transformationsnickelplatinumТермічна стабільність NiSi у плівках Ni/Pt(6 нм)/Siеп/Si(001) при відпалахMaster Thesis92 с.