Сорокін, Дмитро АнатолійовичГубар, Вячеслав Григорович2020-05-202020-05-202019Сорокін, Д. А. Блок керування установки для експонування фоторезисту / Сорокін Д. А., Губар В. Г. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 2, № 2. – С. 26–29. – Бібліогр.: 8 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33661ukдрукована платафоторезистекспонуванняблок керуванняprinted circuit boardphotoresistexposurecontrol unitпечатная платаэкспонированиеблок управленияArticleС. 26-29https://doi.org/10.20535/2617-0965.2019.2.2.163413378.147