Павлова, Олена Петрівна2020-08-282020-08-282008Павлова, О. П. Дослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001) / О. П. Павлова // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 5(61). – С. 73–77. – Бібліогр.: 16 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35880ukДослідження механічних напружень у тонкоплівкових композиціях плівка Ta(100—540 нм)/монокристал Si(001)The investigation of mechanical stresses in Ta(100–540 nm) film/Si(001) single crystal thin film compositionsИсследование механических напряжений в тонкопленочных композициях пленка Ta(100–540 нм)/монокристалл Si(001)ArticleС. 73-77539.216.2:661.685