Орлов, Андрій КостянтиновичГуйжун2023-05-042023-05-042022-12Гуйжун. Вплив границь розділу на термічно-індуковані твердотільні реакції в тонкоплівкових композиціях Ni/Ti : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Гуйжун. – Київ, 2022. – 81 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/55282Об’єкт дослідження: Нанорозмірні плівкові композиції Ni(30 нм)/Ti(30 нм) та [Ni(15 нм)/Ti(15 нм)]x2, осаджені методом магнетронного розпорошення на термічно-окиснені підкладинки монокристалічного кремнію SiO2(100 нм)/Si(001). Предмет дослідження: процеси дифузійного структуроутворення та закономірності фазоутворення в системі Ni-Ti для різної кількості внутрішніх інтерфейсів Ni(30нм)/Ti(30нм)/Si та [Ni(15нм)/Ti(15нм)]x2/Si. Мета роботи: дослідження впливу кількості границь розділу тонкоплівкової системи Ni/Ti на структурно-фазові перетворення та розвиток дифузійних процесів за умов відпалу в температурному інтервалі 200 - 600 ∘С в вакуумі (10-3 Па). Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних іонів. Результати досліджень та їх новизна: збільшення кількості внутрішніх границь розділу із збереженням загальної товщини системи призводить до інтенсифікації дифузійних процесів та структурних змін на ранніх стадіях термічної обробки нанорозмірних плівкових композицій. Сфера застосування: інформаційні технології, мікроелектромеханічні системи.81 с.ukсплави з пам'яттю формитонкі плівки NiTiIмагнетронне розпиленнятермообробкафазаshape memory alloysNiTi thin filmsmagnetron sputtingheat treatmentphaseMaster Thesis