Іващук, Анатолій ВасильовичВенгер, Олександр Анатолійович2020-01-102020-01-102019-12Венгер, О. А. Оксиди металів для фотовольтаїки, сформовані магнетронним методом : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Венгер Олександр Анатолійович. – Київ, 2019. – 99 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30684Роботу викладено на 99 сторінках, вона містить 5 розділів, 35 ілюстрації, 24 таблиць і 56 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є тонкі плівки оксидів ZnO і ІТО. Предмет роботи – дослідження вольт-амперних, температурних та спектральних характеристик тонких плівок ІТО і ZnO, які сформовані магнетронним методом, при різних технологічних режимах. Мета роботи – розробка технологічного режиму нанесення тонких плівок ZnO і ІТО для застосування їх в фотоелектричних перетворювачах. В першому розділі подано літературний огляд, в якому аналізуються проблеми використання тонких плівок оксидів металів у якості захисних, просвітлюючих і провідних шарів для ФЕП. В другому розділі роботи подано огляд матеріалів, які можна використовувати у вигляді тонких просвітлюючих покриттів, а також їх застосування. В третьому розділі приводяться фізичні, хімічні і електрохімічні методи нанесення оптичних покриттів, їх переваги та недоліки. В четвертому розділі представлено процес отримання, а також результати досліджень вольт-амперних, температурних та спектральних характеристик тонких плівок ZnO і ІТО. В п’ятому розділі розроблено стартап-проект, для запуску маштабного виробництва тонких плівок ІТО для космічних апаратів.ukтонкі плівкифотоелектричний елементфотоелектричні перетворювачіоксид цинкуІТОспектральні характеристикиMaster Thesis99 с.