Королевич, Любомир МиколайовичМорозов, Дмитро Вадимович2020-07-202020-07-202020Морозов, Д. В. Кремнієві структури метал-діелектрик-напівпровідник стекового типу : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Морозов Дмитро Вадимович. – Київ, 2020. – 55 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35120Дипломна робота присвячена метал-діелектрик-напівпровідник структурам стекового типу. Метою роботи є описання проблеми заміни SiO2 в МДН-структурах на інші діелектрики та описання стекової структури з діелектриком з високою діелектричною проникністю (high-k). У роботі приводиться інформація про використання діелектриків, які замінили SiO2 через ряд переваг, які також були описані. Загальний обсяг роботи: 56 сторінок, 16 ілюстрацій, 10 посилань, 0 додатків.ukМДНМДНТМОНструктурaMOSFETCMOSFETMDSMDSTMOSstructureMOSFETCMOSFETBachelor Thesis55 с.